Balandžio 16 d., kranui pamažu kylant, pirmoji buitinė valymo vandenilio fluorido rūgštimi (HF Cleaner) įranga, kurią savarankiškai sukūrė ir pagamino Suzhou Jingzhou Equipment Technology Co., Ltd., buvo pakelta ant prijungimo platformos kliento gale ir įstumta į gamykla. , persikėlė sklandžiai.
Valymas vandenilio fluorido rūgštimi yra pagrindinė rodymo proceso grandis. Jo valymo efektas tiesiogiai veikia galutinį įrenginio veikimą, efektyvumą ir stabilumą bei yra susijęs su galutinio produkto išeiga. Valymas vandenilio fluorido rūgštimi ne tik pašalina nešvarumus ant aktyvaus sluoksnio paviršiaus, bet ir pasyvina paviršių, taip sumažindamas sąsajos priemaišų adsorbcijos gebą. Paviršiaus švarumo reikalavimai yra labai griežti ir teoriškai neleidžia naudoti jokių dalelių, metalo jonų ar organinių klijų. Pritvirtintų vandens garų ir oksido sluoksnių paviršius turi būti lygus atominiam lygiui, kad būtų užtikrintas tolesnio apdorojimo proceso patikimumas.
Paskelbimo laikas: 2024-05-13